Лазерное структурирование TCO-пленок
Лазерное структурирование токопроводящих TCO (Transparent Conductive Oxide) -покрытий на стеклянных подложках для создания тончайших структур.
Для TCO-покрытий используется, например, ITO. Он наносится как токопроводящее и прозрачное для света покрытие на стекло или пластмассу. С этой целью на стеклянную подложку наносится обычно очень тонкий слой ITO-покрытия. ITO-стекло применяется, например, в технологии производства высококачественных дисплеев и Touch-Screen - экранов.
Посредством микроструктурирования на поверхности стекла можно создать тончайшие токопроводящие и прозрачные для света электрические схемы. ITO-покрытия применяются также для изготовления прозрачных электродов, предметных стекол, СВЧ-защитных экранов, оптически прозрачных тугоплавких стекол, электролюминисцентных индикаторов, термоизолирующих стекол, невидимых антенн, солнечных элементов, различного рода нагревательных и светопропускающих устройств и во многом другом.
Принцип действия процесса
С помощью лазера структурируются тончайшие изоляционные каналы в TCO-пленке. Они могут иметь произвольные геометрические формы и размеры. На прозрачной подложке можно создать невидимые глазом изолирующие структуры < 50 мкм.