Структурирование тонких покрытий
Создание тончайших структур < 15 мкм
Сенсорная структура на ленточном материале
Тонкие металлические (Cu, Au, Al, Pd, Pt ...) или органические (проводящие полимеры, органические диэлектрики...) покрытия с толщиной слоя до 200 нм, нанесенного на гибкие или твердые подложки, с помощью технологии проекции масок подвергаются абляции и тем самым структурируются.
Монтажная схема находится на кварцевой маске, и ее изображение в уменьшенном виде переносится на подложку. Плоскостное снятие покрытия с помощью лазера
гарантирует высокую производительность.
Преимущества лазерной технологии проецирования структур:
- отсутствие фотолитографии
- сокращение стадий технологического процесса
- высокая производительность благодаря способу непрерывной подачи ленты
- отсутствие процесса агрессивного травления
- отсутствие химикалий
- безопасность для окружаюшей среды
- выход готовой продукции > 90%
- легкость интегрирования в существующие производственные линии
- регенерация / возможность использования снятого слоя материала
- высокие разрешение, точность и скорость процесса
